クリーンルーム

当社のクリーンルームを従来のHEPAフィルタと高効率ULPAフィルタの組合せにより、JISクラス1からJISクラス8までお届けします。
特にクラス4以上のスーパークリーンルームにはULPAフィルタとファンを組み合わせたFFUユニットの採用で省エネ、低騒音の設備を実現させました。
　また、半導体製造環境の高精度、高集積化はこれまで問題にならなかった分子レベルで空気中の代表的ガス状汚染物質であるSO2・NO2や、有機物汚染、ボロン汚染に対処したケミカルフィルタを装備し、スーパーケミカルクリーンルーム要求にお応えします。

クリーンルーム設備の代表的分野と適用清浄度